凈化車(chē)間內(nèi)該如何防止微粒子污染呢？應(yīng)遵守下列四項(xiàng)基本原則：

一、不攜入

在潔凈車(chē)間內(nèi)不攜入微粒子的方法有：

1）作業(yè)員進(jìn)入潔凈車(chē)間前，機(jī)臺(tái)、零件攜入前應(yīng)進(jìn)行清潔處理；

2）進(jìn)入潔凈車(chē)間者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入潔凈車(chē)間。

4）機(jī)器及材料帶進(jìn)潔凈車(chē)間前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)潔凈車(chē)間前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入潔凈車(chē)間。

5）潔凈車(chē)間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

二、不制造

在控制最大污染源--人在凈化車(chē)間內(nèi)的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應(yīng)控制第二大污染源—制造機(jī)臺(tái)的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì)造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì)有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達(dá)到最小限度應(yīng)采取以下對(duì)策：

1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

3）采用發(fā)塵小的潤(rùn)滑油；

4）機(jī)臺(tái)應(yīng)用空壓浮上的非接觸化工作原理。

三、不儲(chǔ)備

若能徹底實(shí)施“不攜入”技術(shù)，潔凈室內(nèi)的潔凈度就可以維持。但現(xiàn)實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機(jī)臺(tái)的掣動(dòng)，在廣大的潔凈車(chē)間內(nèi)要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲(chǔ)備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應(yīng)用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì)依據(jù)重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩(wěn)定的氣流會(huì)使這些累積微粒在空氣中再度揚(yáng)起，增加了重大微粒子污染的危險(xiǎn)性。